• 先进液膜/液晶靶制备设备

    仪器编号自研设备

    型号自研设备

    联系人及邮箱赵家瑞 jrzhao@pku.edu.cn

    设备位置2008实验室

  • 仪器详细信息
  • 仪器收费标准
主要功能
实现高重频激光连续打靶
技术指标
膜厚300nm~2μm可调,可连续供应超1h

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