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先进微纳靶材制备技术

仪器编号自研技术

型号自研技术

联系人及邮箱赵家瑞 jrzhao@pku.edu.cn

设备位置2008实验室

仪器详细信息
仪器收费标准

主要功能

金属薄膜、高分子薄膜、DLC靶、碳纳米管靶、纳米线阵列靶

技术指标

靶参数可调，厚度10nm~10μm，厚度均匀性优于20%，具备＞1000发每天的制备能力

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