主要功能
KLA P-7 探针式台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
技术指标
1.KLA P-7 电极轮廓仪
2.剖面仪2D和Apex 2D表面分析软件-扫描长度为156毫米-不需要拼接-20位测序软件
3.微头5 SR测量头恒定探针力控制垂直范围:0-327微米触针力:0.5-50毫克
4.单视光学-顶视图-2000x1200微米场fniew500万像素彩色数码相机
5.直径150毫米的通用卡盘，带真空样品固定装置精密定位销:50、75、100、125和150毫米晶圆
