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激光加速创新中心

  • 热蒸镀膜设备

    仪器编号202108858

    型号TEMD500

    联系人及邮箱赵家瑞 jrzhao@pku.edu.cn

    设备位置2008实验室

  • 仪器详细信息
  • 仪器收费标准
主要功能
热蒸镀膜设备，主要由电子束蒸发室、储片室、电子枪、电阻蒸发源、膜厚检测系统、机械手、真空系统、全自动控制及水冷报警保护系统等组成。可实现基片在真空条件下在蒸发室和储片室之间传送，可通过储片室装取样品，无需打开蒸发室，在节省时间的同时避免因蒸发室频繁暴露大气环境影响真空抽速及真空极限
技术指标
L500mm×W500mm×H600mm，立式方箱前开门结构； 功率：8000W；6穴坩埚

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